D07-7CM氣體流量計標準接頭形式:雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8",φ4(內)?軟管接頭,VCR1/4",雙卡套1/4",φ6(內)?軟管接頭
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D07-7CM氣體流量計技術參數:
產品型號
D07-7CM
產品類型
普通型
流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產品精度
±1.5%F.S.
重復精度
±0.2% FS
線性
±1%F.S.
響應時間
≤10sec
工作溫度范圍
(5~45)°C
耐壓
3MPa
密封材料
氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號
(0~5)VDC
電源
±15V
閥類型
無閥
溫度系數
- 無 -
零點飄移指標
電氣連接
D sub 15 pins Female
工作壓差范圍
<0.01 MPa
漏率
1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)
標準接頭形式
雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭
表面化學成分
表面粗糙度
抗電磁干擾
CE
重量
0.92 Kg